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壓阻壓力傳感器是利用單晶硅的壓阻效應(yīng)和組成。使用純硅作為彈性元件,使用集成電路技術(shù)在單晶硅膜,在單晶硅擴(kuò)散在一個特定的方向

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組的等效電阻和電阻滿足橋路,單晶硅片的傳感器。當(dāng)壓力變化時,單晶硅生產(chǎn)菌株,傳播的正上方阻力和壓力測量的壓力





成比例變化,電橋電路相應(yīng)的電壓輸出信號。下面小編給你介紹“壓阻壓力傳感器結(jié)構(gòu)原理圖the"的工作過程和特點(diǎn);





壓阻壓力傳感器結(jié)構(gòu)





壓阻壓力傳感器集成技術(shù)集成電阻條單晶硅膜,制成的硅壓阻芯片,和修復(fù)芯片外圍封裝在一個外殼,從而導(dǎo)致電極。壓阻壓力傳感器也稱為固態(tài)壓力傳感器,它不同于粘貼式應(yīng)變儀間接由彈性敏感元件感受力量,而是由硅膜片壓力直接測量。？





一側(cè)的硅膜片的測量是與高壓腔的壓力,另一方面是與低壓腔的氣氛。硅膜片設(shè)計周邊固支圓,直徑和厚度比約為20~60。傳播的圓形硅膜片本地化第四條p雜質(zhì)阻力,完成這座橋,在受壓區(qū)包括兩個,另外兩個是在拉應(yīng)力區(qū),相對于隔膜對稱中心。？





此外,也有使用方形硅膜片和硅塊敏感元件。硅汽缸傳感器也在汽缸的晶體硅擴(kuò)散在某方向條電阻,耐拉伸應(yīng)力的兩個,另兩個抗壓應(yīng)力的橋。

壓阻傳感器是基于半導(dǎo)體材料的壓阻效應(yīng)的半導(dǎo)體襯底設(shè)備由擴(kuò)散阻力。底物可以直接測量傳感器,擴(kuò)散阻力在襯底上橋形式。





當(dāng)外力引起的基質(zhì)和變形,電阻值會改變,會產(chǎn)生相應(yīng)的不平衡輸出橋。嗎?作為襯底材料壓阻傳感器(或隔膜)主要為硅和鍺,硅晶圓為敏感嗎?材料制成的硅壓阻傳感器越來越得到人們的關(guān)注,尤其是測量壓力和速度最常見的固態(tài)壓阻傳感器的應(yīng)用。





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